所属部门：

集成电路先导工艺研发中心(十室)

教育背景：

1999年   美国德克萨斯大学奥斯忊分校电机系      博士

1986年   中国科学院半导体研究所                硕士

1983年   中国科技大学物理系半导体专业          学士

工作简历：

1999年-2009年   英飞凌公司的美国研发总部

1992年-1995年   美国德克萨斯大学微电子中心

1986年-1992年   中国科学院微电子研究所

研究方向：

微电子；

极大规模集成电路的工艺集成技术

承担科研项目情况：

02 国家科技重大专项课题：“22纳米关键工艺技术先导研究及平台建设”；

02 国家科技重大专项课题：“32纳米产品工艺技术开发”

备注：

专利申请： 17项美国专利； 5项中国专利；